低温等离子灭菌器既可对金属医疗器械进行低温灭菌，也可对非金属医疗器械进行低温灭菌。通过过氧化氢在舱室内扩散，然后将过氧化氢“激励”成等离子体状态，对医疗器械进行灭菌。
低温等离子灭菌器是将过氧化氢气体和等离子相结合，在低温、负压的情况下，使过氧化氢汽化预算灭菌器械充分接触，在灭菌室中施加高频电离产生等离子体，通过灭杀微生物的生命物质从而达到灭菌效果，属于低温灭菌。
低温等离子灭菌器既可对金属医疗器械进行低温灭菌，也可对非金属医疗器械进行低温灭菌。通过过氧化氢在舱室内扩散，然后将过氧化氢“激励”成等离子体状态，对医疗器械进行灭菌。过氧化氢蒸汽通过与等离子体结合，可对医用器械和材料安全、迅速灭菌，不留任何毒性残余。灭菌过程的各阶段都是在干燥的低温环境下运行，因此不会损坏对热或水汽敏感的器械，对金属和非金属器械都适用，并能对诸如止血钳铰链等难以到达（不易扩散）的器械部位进行灭菌。
灭菌优点：
对人体及环境安全，由于过氧化氢等离子低温灭菌器的特殊灭菌原理，在灭菌循环结束后没有危害物质残留，灭菌物品不必进行通风，取出后即可使用；而且由于其灭菌时间短，灭菌时间35-70min，加快了手术器械的周转。与环氧乙烷灭菌相比，妇科宫腔镜周转使用增加了1倍，眼科烧灼线、五官鼻窦内镜、手术室电凝线、电钻、电锯的周转使用增加两倍以上。
安装操作：
安装及操作简单、安全，仅需要电源(三相四线380 V电压)，不需要排水、通风及引流设施，灭菌过程全自动化，操作者容易掌握。
适用范围：
等离子灭菌器对象的范围广，可用于金属及非金属制品，特别适用于非耐高热物品、非耐湿物品，主要有运动医学、妇科、外科、五官科、眼科、泌尿科等腔镜器械，如关节镜、腹腔镜、鼻窦内镜、电切镜、输尿管镜、电凝线、电钻、电锯等物品的灭菌。
等离子低温灭菌器也有其局限性，布类及纸类包装材料可吸收H2O2灭菌剂，不可使用纸类及棉布类的包装材料；灭菌物品中不可有任何含有木质纸浆的物品，以及由含纤维素的材料制成的物品。
