等离子体被认为是液态、气态、固态之外的第四种状态，是气体分子在极度真空的腔体内受激发而形成的。过氧化氢等离子体灭菌，具有灭菌循环时间短，彻底分解终产物毒性低的优势。低温等离子体灭菌器，是适用于不耐热、不耐湿的金属、非金属的精密诊疗器械盒用品的灭菌。