灭菌是指杀灭或去除外环境中一切微生物的过程。包括致病性微生物和不致病的微生物，如细菌（含芽胞）、病毒、真菌（含孢子）等，一般认为不包括原虫和寄生虫卵，以及藻类。以下是我司低温等离子灭菌器的灭菌过程阶段：
一、真空阶段：通过真空泵将灭菌舱内空气抽出，直到达到等离子体放电的真空条件，同时可去除灭菌物上的湿气。值得的注意的是，如同其他灭菌设备一样，灭菌舱内装载量约占整个舱的80%，可避免真空循环时间过久或因超载所导致的循环取消。在此过程中，灭菌舱内压力由正压至负压。
二、扩散阶段：真空期结束后，自动注入2ml60%浓度的过氧化氢，瞬间气化分成分子，均匀扩散到整个灭菌腔室。等离子阶段：气化的H2O2在RF的作用下产生等离子体，通过低温离子化的活性Free-radical作用，使微生物灭绝。
三、等离子期：启动等离子发生器，气化的过氧化氢在能量作用下进入等离子态。随后重复注液扩散阶段和等离子阶段，已保证器械的灭菌效果。
四、回空阶段：灭菌循环的最后阶段。通风阀门开启，使经过过滤后的洁净空气进入灭菌舱，舱内负压恢复到一个大气压时，灭菌过程即告完成。
目前我司厂家的低温等离子灭菌器产品有表面灭菌灭菌、标准灭菌、预热灭菌、高级灭菌等程序，灭菌时间范围在35分到67分钟。以保证各证灭菌器械的灭菌效果。在灭菌表面物品时，可使用表面灭菌35分钟达到灭菌效果；灭菌较长管腔时可使用高级灭菌程序57分钟即可达到灭菌效果；在灭菌冷金属较多的器械时，使用预热灭菌67分钟达到灭菌效果；
